Kioxia razvija novu strukturu Flash Mapamy Twin Bics Flash

Kioxia Europe GmbH najavio je razvoj prve svjetske tehnologije trodimenzionalnih polukružnih stanica flash-memorije s odvojenim zatvaračem na temelju strukture polukružnih ćelija posebnog dizajna s plutajućim zatvaračem-twin bics bljeskalicom bljeskalice. Nova struktura poboljšala je karakteristike snimanja i širi prozor/brisanje za snimanje s mnogo manjom veličinom u usporedbi s tradicionalnim okruglim nabojima s zamkom naboja CT .

Riža. jedan. Formirane polukružne stanice FG: A – presjek; B – Pogled na vrhu

Zahvaljujući takvim karakteristikama ćelije novog dizajna, oni se smatraju obećavajućim rješenjem koje premašuje tehnologiju skladištenja četiri bita u ćeliji QLC i omogućava značajno povećanje gustoće skladištenja i smanjenje broja slojeva. Nova tehnologija predstavljena je na konferenciji IEEE International Electron Devices IEDM , održana 11. prosinca u San Franciscu, Kalifornija, SAD.

Tehnologija 3D-flash memorije omogućila je postizanje visoke gustoće snimanja uz nisku cijenu za svaki bit podataka zbog povećanja broja slojeva stanica, kao i primjene primjene višeslojne strukture i jetkanja s velikim izduženjem. Posljednjih godina, kada je broj slojeva ćelija premašio stotinu, potraga za kompromisom između upravljanja profilom jetkanja, jednoobraznosti veličine i učinkovitosti proizvodnje postaju sve teži zadatak. Da bi riješio ovaj problem, Kioxia je razvila novi dizajn polukružnih ćelija razdvajanjem izlaza zatvarača u tradicionalnoj okrugloj ćeliji kako bi se smanjila veličina i stvorila veću gustoću s manjim slojevima. Kružni upravljački vijak zbog učinka zakrivljenosti, koji poboljšava ubrizgavanje nosača kroz dielektrično tunel i smanjenje istjecanja elektrona u blokirajući dielektrik BLK pruža širi prozor za snimanje i smanjuje učinak zasićenja u usporedbi s ravnim gatewayom.

Riža. 2. Eksperimentalne karakteristike snimanja/brisanja polukružnih FG stanica u usporedbi s okruglim CT stanicama

U ovom je dizajnu kružni upravljački okidač simetrično podijeljen na dva polukružna kapka, što značajno poboljšava dinamiku snimanja/brisanja. Kao što je prikazano u riži. 1, kako bi se povećala učinkovitost hvatanja naboja, provodljivi sloj skladišta koristi se u kombinaciji s blokirajućim dielektrikom s visokom propusnošću. Kao rezultat toga, postiže se visoki koeficijent veze kako bi se povećao prozor za snimanje, a propuštanje elektrona s plutajućeg zatvarača je smanjeno, što nam omogućava uklanjanje problema uzrokovanih zasićenjem. Eksperimentalne karakteristike snimanja/brisanja riže. 2 pokazuju da polukružne stanice s plutajućim zatvaračem FG i blokirajući dielektrik s visokom propusnošću pružaju značajno poboljšanje karakteristika snimanja i širenja prozora za snimanje/brisanje u usporedbi s prometnim ćelijama okruglog punjenja CT .

Riža. 3. Sinalizirane VT distribucije nakon snimanja s kalibriranim parametrima

Očekuje se da će polukružne FG stanice s najboljim karakteristikama snimanja/brisanja imati relativno gustu raspodjelu QLC VT s malom veličinom ćelije. Osim toga, upotreba silicijskog kanala s niskom koncentracijom zamki omogućuje pohranjivanje više od četiri bita u jednoj ćeliji i realiranje, na primjer, stanice na pet nivoa PLC , kao što je prikazano u riži. 3. Ovi rezultati potvrđuju da polukružne FG stanice mogu poslužiti kao praktično rješenje za povećanje gustoće pohrane podataka.

Od sada, istraživanje i razvoj Kioxia u području inovativne flash memorije uključivat će daljnji razvoj Twin Bics Flash tehnologije i potragu za njegovom praktičnom primjenom. Na konferenciji IEDM 2023, Kioxia je također predstavila još šest publikacija koje pokazuju visoku aktivnost i razvoj tvrtke u području flash memorije.